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气体产品一览表
NF3
SiH4
SiH4
CF4
PH3
PH3
C2F6
B2H6
SF6
C3F8
SiH2Cl2
NF3
C4F6
WF6
Cl2
C4F8
NH3
CO2
C5F8
N2O
Ar
CHF3
He
CH3F
CHF3
CH2F2
SDS2 AsH3
SF6
SDS2 PH3
Cl2
SDS2 BF3
BCl3
SDS2 SiF4
AsH3
HBr
AsH3 mixture
PH3
HCl
PH3 mixture
NH3

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