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·副产物对策!
使用Cold wall来抑制堆积物的生成
在第2冷却部获取生成物
·大流量处理!
最大处理流量800L/min
·丰富的交货实绩!
使用多重安全回路、安全、信赖度高

高分解率!
CF4: 95%以上 C2F6: 98%以上
SF6: 97%以上 NF3: 99.9%以上

型号规格




Port 数 /1Burmer

规定处理量

外型尺寸

1

2

4

/1Port

/1Port

W × D × H (mm)

SCRN-3000 Series
(ETCH对应)

3100

3101

 

 

100

100

1600×1200×2050

3200

3201

 

 

200

200

1600×1200×2050

SCRN-5000 Series

(CVD:大容量SiH4对应)

5400

5401

 

 

400

400

1600×1200×2050

5402

 

 

200

400

1600×1200×2050

5404

 

 

100

400

1600×1200×2050

5800

5801

 

 

800

800

1600×1200×2050

5802

 

 

400

800

1600×1200×2050

5804

 

 

200

800

1600×1200×2050


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